江苏敏芯MST700 MEMS力传感器，国内MEMS力传感器的量产之路

2016年5月20日，第六届中国IC创新高峰论坛在松山湖展开。会上，苏州敏芯CEO李刚对力传感器概念做了一个澄清，他强调：“我们一般说的力传感器其实并不是压力传感器，不是力学概念，英语叫Pressure，是压强不是力。包括我们现在已经量产的力传感器正应用在无人机上，其实也是Pressure，不是压力的传感器”。

那么，力传感器和压力传感器的本质区别是什么呢?李刚解释了力传感器的原理：“力传感器首先做了一个压力信号转变为压强形式，造成薄膜的变形，接着电阻发生变化，最后通过一个电桥输出电压变化。因此原理上Pressure sensor就多了一个把力转换成压强的概念。”

此次敏芯推出的MST700 MEMS 力传感器从技术上来看，与国际上的一些大牌所采用的方式有所不同。李刚介绍道：“与美国的TEKSCAN和INTERLINK这些老牌的公司相比，它们的技术都是用压力敏感涂层或压力敏感有机材料。在像电容似的膜的两边做金属，一压的话就会发生变化，还有有些敏感材料在里面做一些金属离子，一压的话金属离子有些电阻就会发生变化这种‘三明治’式结构”。这些压力敏感膜技术优点就是结构简单，可靠性高，但价格十分昂贵，温度特性、迟滞回滞特性都比较差。”

据李刚强调：“敏芯的芯片则采用压阻式压力芯片，柔性介质隔离进行封装，因此接触点比较小，芯片尺寸可以做到2×2mm2(横向无厚度)，纵向上是22×0.7mm2，并实现完全批量化生产。又因为是半导体技术，所以成本比较低，灵敏度和温度特性都比较好。”

从产品的市场应用来看，李刚向众人详细介绍了苹果以及中兴公司所使用的三代不同3D Touch技术：第一代3D Touch技术就是苹果的笔记本上的3D Touch，类似于一个电子秤，利用金属应变片来做的，也是敏芯电子想发展的技术，只不过我们把传统的金属应变片做成了一个半导体的力传感器;苹果第二代的3D Touch是用的膜技术;第三代就是iPhone 6s的整版电容膜的技术。号称世界上第一颗3D Touch的手机是中兴的的天机vive，用的是压阻膜的技术。但是第一代效果不是很好，第二代有很大的改变，有四颗传感器，新一代的有三十几颗传感器，提供了更好的应用体验。

而对于敏芯的3D Touch，李刚则自豪地说道，“我们的3D Touch传感器封装起来就2*2*0.7mm3，体积比较小，有更宽的动态范围。应用十分灵活，尤其适合大屏幕用，然而大屏幕用膜技术的话会越来越贵。潜在应用的话就是蓝海应用市场，比如一些笔的应用、音量键的应用以及home键的应用”。

在产品的市场定位上，敏芯电子此次推出的MST700 MEMS 力传感器不仅是国内首颗量产，更是敏芯公司从“Me Too” 走向“Me First”的一次战略转型的大胆尝试。然而和众多“First”一样，此款力传感器产品线在市场推广上也存在诸多风险与挑战。李刚十分严肃的向大家预测MST700即将面临的挑战：“如果让我现在预估的话，这款力传感器明年也就100000量级的出货量，而且不会在手机上出现很多的量”。

至于出现这种现状的原因，李刚解释道：“从市场了解到，产品本身并没有问题，但是用户上有一些问题，而且生态链并不好。用户更偏向镀膜技术和单面贴的技术，所以这就导致MEMS 传感器产品推广存在较大的不确定性。而这种不确定性带来的后果便是MST700有可能大卖(公司利润暴增)，也有可能完全失败。”

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